Monitoraggio della Pressione dello Scrubber al Plasma
il plasma in un depuratore al plasma è uno stato di esistenza della materia, che di solito è un gas di processo, per cui è necessario aggiungere speciali trasmettitori di pressione ai percorsi dei gas rilevanti del sistema di pulizia al plasma per monitorare e fornire i dati di produzione pertinenti.
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