Monitoraggio della Pressione dello Scrubber al Plasma

Panoramica del Applicazione

il plasma in un depuratore al plasma è uno stato di esistenza della materia, che di solito è un gas di processo, per cui è necessario aggiungere speciali trasmettitori di pressione ai percorsi dei gas rilevanti del sistema di pulizia al plasma per monitorare e fornire i dati di produzione pertinenti.

Trasmettitori di Pressione per Scrubber al Plasma

Sfide applicative


1. deve essere in grado di regolare l'entità della pressione del gas per garantire una pressione stabile del gas.
2. I forti ambienti elettromagnetici richiedono eccellenti prestazioni EMC dei componenti elettronici.
3. Requisiti speciali per la struttura dell'interfaccia di pressione del trasmettitore di pressione

Vantaggi della soluzione


1. Struttura elettrica altamente integrata con una buona progettazione EMC
2. Ampia gamma di selezione e opzioni per soddisfare i requisiti speciali dell'interfaccia di pressione
3. Gamma completa di certificazioni.

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