Il sensore di pressione MPM280 ha un robusto alloggiamento in acciaio inossidabile, 316L, che offre loro una stabilità ottimale a lungo termine per una vasta gamma di applicazioni OEM. Il diaframma ondulato in acciaio inossidabile 316L è saldato sulla parte anteriore, separando il chip di rilevamento della pressione, che è fatto di silicio, dal mezzo di misura. Ogni sensore viene misurato sull'intera scheda tecnica di pressione e temperatura e viene fornito con l'etichetta delle specifiche.
| Power supply | ≤2.0mA DC |
| Electrical connection | φ0.5mm Kovar pin or 100mm silicon rubber flexible wires |
| Common mode voltage output | 50% of input (typ.) |
| Input impedance | 3kΩ~8kΩ |
| Output impedance | 3.5kΩ~6kΩ |
| Response (10%~90%) | <1ms |
| Insulation resistor | 100MΩ@100V DC |
| Overpressure | 2 times FS or 1100bar(min. value is valid) |
il plasma in un depuratore al plasma è uno stato di esistenza della materia, che di solito è un gas di processo, per cui è necessario aggiungere speciali trasmettitori di pressione ai percorsi dei gas rilevanti del sistema di pulizia al plasma per monitorare e fornire i dati di produzione pertinenti.
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Φ19x15mm
0bar~0.2bar…1000bar
General
Piezoresistive pressure sensor MPM280 is a silicon oil-diffused type pressure sensing element...
Φ19x15mm
0bar~0.2bar…1000bar
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